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MEMS传感器制造、封测、集成、融合等多种技术对外依存度较大

我国传感器企业在产品品质、技术工艺、生产装备、企业规模、市场占有率、综合竞争能力等方面都存在较大差距，尤其是在关键技术、工艺、材料、工具等较多领域受制于人的现象较为严重。在技术工艺方面，MEMS传感器制造、封测、集成、融合等多种技术对外依存度较大，传感器电源节能、自组织组网、信号处理等技术与国外企业相比存在一定差距。在材料方面，较多传感器使用的化学、有机、高分子、半导体等材料对进口依赖度较大。在工具方面，传感器研发设计所需的EDA、封测等装备工具对外依存度较大。技术装备落后，生产与检测自动化水平较低，技术改造和设备能力提升投资大，企业无力进行改造，直接影响科研和生产工艺技术整体能力提高，严重影响产品创新和产业化进程。

传感器的组成及基本转换电路组成

传感器的组成

传感器通常由敏感元件、转换元件及基本转换电路组成，如图1所示。敏感元件是能够灵敏地感受被测景并按确定关系做出响应的元件；转换元件是将敏感元件所感受的被测量转换成电路参数（如电阻、电感和电容）或电量（如电压、电流）的元件；基本转换电路是将转换元件的输出转换成便于传输和处理电量的电路。

某些传感器可以仅由敏感元件和转换元件组成，而某些传感器的敏感元件和转换元件可合二为一，简单的传感器是由一个敏感元件（兼转换元件）组成，它在感受被测量时可以直接输出电量，如热电偶、压电晶体、光电池等。

非接触式电接近传感器的感应方式

传感器的感应方式

接近感应

接近感应通常意味着检测：

a、是否存在物体。

b、对象的大小或简单形状。

接近传感器在操作中可以进一步分为接触式或非接触式，以及模拟或数字。传感器的选择取决于物理，环境和控制条件。其中包括：

机械：

可以采用任何合适的机械/电气开关，但是由于操作机械开关需要一定的力，所以通常使用微型开关。

气动：

这些接近传感器通过破坏或扰乱气流来工作。气动接近传感器是接触式传感器的示例。但这些产品不能用于可能被吹走的轻型部件。

光学：

在简单的形式中，光学接近传感器通过断开光束而落下，该光束落在诸如光电池的光敏装置上。这些是非接触式传感器的示例。

值得注意的是，这些传感器的照明环境必须格外小心，例如，光学传感器可能会因电弧焊过程中的闪光而被遮蔽，空气中的灰尘和烟云可能会阻碍光的传输等。

电气：

电接近传感器可以是接触式或非接触式。简单的接触式传感器通过使传感器和组件形成完整的电路来进行操作。非接触式电接近传感器依赖于感应原理来检测金属或依靠电容来检测非金属。

传感器的感应方式有哪些

力感测

可能需要感应的力有六种。在每种情况下，力的施加可以是静态的（静止的），也可以是动态的。力是矢量，因为它必须同时在大小和方向上。因此，力传感器是模拟操作，并且对其作用方向敏感。六种力量是：

①、拉力

②、压缩力

③、剪力

④、扭转力

⑤、弯曲力

⑥、摩擦力

存在用于感测力的多种技术，一些是直接的，一些是间接的。

拉伸力：

可以由应变计确定，当长度增加时，它们会显示出其电阻的变化。这些量规测量的电阻变化可以转化为力，因此是间接装置。

压力：

可以通过称为称重传感器的设备来确定，这些设备可以“通过检测压缩负载下电池尺寸的变化，或者通过检测负载下电池内压力的增加，或者通过在压缩负载下电阻的变化来运行”加载。

扭转力：

可以看作是拉伸力和压缩力的组合，因此可以采用上述技术的组合。

摩擦力：

这些涉及要限制运动的情况，因此“通过使用力和运动传感器的组合间接检测摩擦力。