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发布时间:2020-06-30 19:11:00 作者:善测
从加工方法的机理、特点和传统来分类,精密和超精密加工又可分为传统加工、非传统加工和复合加工。传统加工是指刀具切削加工、固结磨料和游离磨料的磨削加工;非传统加工是指利用电能、磁能、声能、光能、化学能和核能等对材料进行加工和处理;复合加工是采用多种加工方法的复合作用,进行优势互补,相辅相成。当前,在制造业中,占主要地位的仍是传统加工方法。 在加工精度的量级上,精密加工是指加工精度为1~0.1?μm,表面粗糙度为0.1~0.025μm的加工技术,超精密加工是指加工精度高于0.1?μm,表面粗糙度小于0.025?μm的加工技术。目前超精密加工已进入纳米级精度阶段,故出现了纳米加工及其相应的技术。CDMS使用电容传感器实现非接触位移、位置、振动、角度、介电常数及各种形变、厚度、刚度等参数的高精度检测。
由于超精密加工的精度等级和表面质量都很高,因此,一定要有相应的检测手段,才能验证工件是否达到了相应的技术要求。在精密超精密加工和测量中,对测量技术提出了更为严格的要求,即要求测量误差比加工误差高一个数量级。目前,超精密测量仪正向高分辨力、高准确度和高可靠性的方向发展。机械加工行业中,轴系晃动量的测量、机械零部件的表面粗糙度测量、孔径测量、圆柱度测量、不圆度测量、三座标测量机检测上应用。公司发展了分辨率均可以达到1?nm的测量元件;美国HP、zygo、英国Taylor等公司的测量仪器均可以满足纳米测量的需求。
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