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温度稳定性好。

传感器的电容值一般与电极材料无关，有利于选择温度系数低的材料， 又因本身发热，对稳定性影响甚微。

结构简单，适应性强，待测体是导体或半导体均可,可在恶劣环境中工作。

电容式传感器结构简单，易于制造，可做得非常小巧，以实现某些特殊的测量；能工作在高低温、强辐射及强磁场等恶劣的环境中，也能对带有磁性的工件进行测量。

动态响应好。

由于极板间的静电引力很小，可动部分做得很小很薄，因此其固有频率很高，动态响应时间短，能在几兆赫的频率下工作，特别适合动态测量，如测量振动、瞬时压力等。

可以实现非接触测量，具有平均效应。

例如非接触测量回转轴的振动或偏心、小型滚珠轴承的径向间隙等。当采用非接触测量时，电容式传感器具有平均效应，可以减小工作表面粗糙等对测量的影响.

左侧隔离膜片比右侧隔离膜片更清晰。在这张照片中清晰可见的一个特征是左侧隔离膜片与内部金属框架之间的间隙较小，而传感膜片所在的宽敞腔室则较小。

回想一下，这些内部空间通常由填充流体占据，其目的是将压力从隔离膜传递到传感膜片。如前所述，实心金属框架限制了每个隔离膜片的行程，使得高压隔离膜片在传感膜片被推过其弹性极限之前在金属框架上“底部”。通过这种方式，可以保护传感膜片免受过压损坏，因为隔离膜片根本不允许再移动得更远。普通直线电位器和圆形电位器都可分别用作直线位移和角位移传感器。

无接触式电容传感器的工作原理是测量被称为电容的电性能之变化。电容这一术语描述两个相距一定距离的导电物体如何对施用于它们的电压差作出反应。当对导体施以电压后，导体之间就会形成电场，该电压可令正负电荷分别在每个物体处聚集。如果电压的极性改变，正负电荷也会随之改变。质量块的下端面也是一个活动电极，它与下固定电极组成另一个电容器C2。

电容式位移传感器是以电容器为敏感元件，将机械位移量转换为电容器电容量变化的一种传感器。其特点是结构简单、分辨率高、工作可靠、动态响应好，可实现非接触测量，能在恶劣环境条件下工作，主要用于位移、液位等方面的测量。