薄膜厚度测量多重优惠「多图」

电容传感器是一种通过简单的机械结构就能实现低功耗、良好的动态性能以及非接触式测量等特点的传感器。电容传感器能有效检测到微米级的位移变化，具有非常高的精度，应用前景广泛。目前主要广泛应用于di震灾害监测、航空航天及工业生产中对微小位移、液位、压力、重力等参数的测量。3、调频干扰和静电干扰都有可能让直线位移传感器的电子尺的显示数字跳动的。

电容位移传感器，英文名称为capacitive type transducer，是一种将其他量的变换以电容的变化体现出来的仪器。其主要由上下两电极、绝缘体、衬底构成，在压力作用下，薄膜产生一定的形变，上 下级间距离发生变化，导致电容变化，但电容并不随极间距离的变化而线性变化，其还需测量电路对输出电容进行一定的非线性补偿。传感器输出信号为位移值，即使电源中断、重接，数据也不会丢失，更无须重新归零。

隔膜的二次功能是作为两个电容器的一个板提供了一种测量位移的便捷方法。由于导体之间的电容与它们之间的距离成反比，因此低压侧的电容将增加，而高压侧的电容将减小：

连接到该单元的电容检测器电路使用高频AC激励信号来测量两半之间的电容的不同，将其转换成DC信号，该DC信号成为表示压力的仪器输出的信号。

这些压力传感器具有高的精度，稳定性和坚固性。这种设计使用两个隔离膜片通过内部“填充流体”将过程流体压力传递到单个传感膜片 - 实心框架限制了两个隔离膜片的运动，使得任何一个都不能用力传感膜片超过其弹性极限。

如图所示，高压隔离膜片被推向金属框架，通过填充流体将其运动传递到传感膜片。如果对该侧施加太大的压力，则隔离膜片将仅“压扁”在电容的实心框架上并停止移动。这有效地限制了隔离膜片的运动，因此即使施加额外的过程流体压力，它也不可能在传感膜片上施加更多的力。电容式位移传感器的电容器极板多为金属材料，极板间衬物多为无机材料，如空气、玻璃、陶瓷、石英等。

应该注意的是，液体填充流体的使用是这种抗过压设计的关键。为了使传感膜片将所施加的压力地转换成比例电容，它必须不接触围绕它的导电金属框架。但是，为了保护隔膜免受过压，它必须接触固体止回器以限制进一步的行程。因此，对非接触（电容）和接触（过压保护）的需求是相互排斥的，使得几乎不可能用单个传感膜片执行这两种功能。位移传感器它是以相对的输出电压来呈现出所测量位置的实际上的位置。

左侧隔离膜片比右侧隔离膜片更清晰。在这张照片中清晰可见的一个特征是左侧隔离膜片与内部金属框架之间的间隙较小，而传感膜片所在的宽敞腔室则较小。

回想一下，这些内部空间通常由填充流体占据，其目的是将压力从隔离膜传递到传感膜片。如前所述，实心金属框架限制了每个隔离膜片的行程，使得高压隔离膜片在传感膜片被推过其弹性极限之前在金属框架上“底部”。通过这种方式，可以保护传感膜片免受过压损坏，因为隔离膜片根本不允许再移动得更远。能工作在高低温、强辐射及强磁场等恶劣的环境中，也能对带有磁性的工件进行测量。